檢測設備

Taylor Hobson PGI Optics、Taylor Hobson CCI 2000

Zygo VeriFire PE、Zygo Newview 8200、日立 SU 1510掃描電子顯微鏡

有色金屬制造案例

基于鋁、銅等有色金屬材料，開展傳統光學元件，微結構元件，自由曲面光學元件的高精度制造技術研究。

紅外光學元件制造案例

基于常用紅外材料，研究傳統光學元件的車削加工工藝，實現亞微米量級的面形精度和納米量級的表面粗糙度的制造技術。

光學塑料元件制造案例

基于TPX、PMMA等光學塑料，研究傳統光學元件、自由曲面光學元件的加工工藝，滿足太赫茲領域、可見光領域的系統要求。

微結構光學、自由曲面光學等元件制造案例

Fly-cutting加工微米尺寸金屬材料金字塔結構模具（SEM檢測結果）

另外還有針對不同材料，對離軸面，雙錐面，多項式面等自由曲面光學元件的制造技術進行相應研究。

鋁基，金字塔陣列，口徑12.7mm; 鋁基，離軸拋物面， Φ 50mm；異性拋物面鏡，Φ170mm；  純鋁，圓棒，L板Ra=30±3nm